Buồng chân không tự động độ chính xác cao Thiết bị kiểm tra rò rỉ Helium 9,0E-11Pa.m3 / giây

Buồng chân không tự động độ chính xác cao Thiết bị kiểm tra rò rỉ Helium 9,0E-11Pa.m3 / giây

Thiết bị kiểm tra rò rỉ heli này khá độc đáo, độ chính xác phát hiện rò rỉ có thể lên tới 9.0E-11Pa.m3 / giây, phù hợp với các sản phẩm có yêu cầu nghiêm ngặt về precisio.

Kỹ thuật Paramaeters:

Phát hiện rò rỉ phát hiện rò rỉ Helium:

A. Người vận hành đặt phôi gia công trong buồng chân không, đóng cửa buồng chân không bằng tay và nhấn nút khởi động;

B. Buồng được hút bụi tự động, phát hiện rò rỉ tổng phôi bằng cách đo tổng lượng không khí trong quá trình sơ tán buồng chân không: nếu có rò rỉ tổng, báo động sẽ được phát ra; nếu không có rò rỉ, quá trình tiếp theo sẽ được tiếp tục;

C. Buồng chân không được hút chân không đến mức thiết lập;

D. Tín hiệu Helium trong buồng chân không sẽ được phát hiện tự động;

E. Sự rò rỉ tốt của phôi sẽ được xác định tự động:

Nếu máy dò rò rỉ phát hiện rằng có một tín hiệu helium vượt quá giá trị đã đặt trong buồng chân không, nó cho biết rằng phôi có rò rỉ tốt và đèn báo rò rỉ tốt trên giao diện hoạt động đang bật. Các nhà điều hành nhấn nút xác nhận trên bảng điều khiển hoạt động, cửa buồng được mở tự động, phôi được dỡ, phôi được đặt ở khu vực không đủ tiêu chuẩn;

Nếu máy dò rò rỉ không tìm thấy tín hiệu heli vượt quá giá trị cài đặt trong buồng chân không, nó chỉ ra rằng phôi đã vượt qua kiểm tra rò rỉ tốt, chỉ báo đủ điều kiện trên giao diện hoạt động đang bật, cửa buồng được mở thủ công, phôi gia công được tháo dỡ, và phôi được đặt trong khu vực đủ điều kiện.

Thiết bị này sử dụng bơm chân không không chứa dầu INFICON để loại trừ sự nhiễm bẩn các bộ phận bị rò rỉ bằng hơi dầu.

Đặc điểm kỹ thuật:

Hệ thống của chúng tôi sử dụng công nghệ tự động hoá quy trình, kết hợp thiết bị xử lý với công nghệ điều khiển tự động điện. Toàn bộ quá trình phát hiện phôi được điều khiển tự động bởi PLC và màn hình cảm ứng, người vận hành chỉ cần tải và dỡ phôi gia công, không cần phải có phán quyết của con người đối với mỗi quá trình. Chương trình PLC tự động đánh giá kết quả của bước trước và hoàn thành việc thực hiện bước tiếp theo theo các điều kiện đặt trước, thay thế phán đoán và thực thi của con người, làm cho người vận hành giải phóng khỏi công việc điện não phức tạp.

Hệ thống được trang bị một máy đo rò rỉ helium tiêu chuẩn là 1.0x10 ^-11 Pa.m3 / giây. Các chứng chỉ liên quan sẽ được cấp bởi Viện Đo lường Quốc gia Trung Quốc. Độ chính xác và độ ổn định của thiết bị có thể được truy tìm trở lại Viện Đo lường Quốc gia Trung Quốc. Đảm bảo máy đo rò rỉ trong hệ thống được bên thứ ba phê duyệt.